EZ4勻膠機
性能特點:
1.結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可多步操作,性能穩(wěn)定;
2.可從手套箱過度倉內(nèi)來回進出,可旋涂4寸圓形底物,中英文操作界面可選
3.工業(yè)級直流馬達,單片機控制,轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定,重復性好,精度高
4.不易進膠堵膠設計,旋涂內(nèi)腔易拆卸清洗更換
5.耐腐蝕、易清潔注塑內(nèi)腔,HDPE材料真空吸盤
6.耐溶劑性PC材料透明蓋,恒定扭矩定位功能
7.75W直流無刷電機,單片機控制
8.可處理碎片(小于1cm)至4英寸圓晶底物
技術(shù)參數(shù):
轉(zhuǎn)速可控范圍:100-9999rpm
轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm
加速度可控范圍:100-9999rpm/s
單步步長:3000s
時間分辨率:1s
寬輸入電壓適用:AC100-230V
外形尺寸:210*265*213mm